我國集成電路制造設備主要依賴(lài)進(jìn)口，每年需要花費上千億美元外匯。記者日前從北京市科委獲悉，北京市牽頭組織的國家中長(cháng)期科技發(fā)展規劃重大專(zhuān)項、國產(chǎn)“90-65納米大角度離子注入機”實(shí)現產(chǎn)業(yè)化，一舉打破了國外對高端集成電路制造裝備的技術(shù)壟斷，取得千億美元市場(chǎng)的“入場(chǎng)券”。

 “90-65納米大角度離子注入機”，是“極大規模集成電路制造裝備及成套工藝”重大專(zhuān)項(“02重大專(zhuān)項”)的重要成果。這也是國家中長(cháng)期科技發(fā)展規劃中惟一由地方政府牽頭組織實(shí)施的重大專(zhuān)項。

據介紹，離子注入機是集成電路制造前期工序中的關(guān)鍵設備，也是集成電路制造工藝中必不可少的關(guān)鍵裝備——離子注入是對半導體表面附近區域進(jìn)行摻雜的技術(shù)，其目的是改變半導體的導電類(lèi)型，為制作芯片打好“地基”。此前，我國生產(chǎn)的離子注入機，僅能滿(mǎn)足8英寸硅盤(pán)的1000納米離子注入。

在通州光機電一體化產(chǎn)業(yè)基地，耗費5年時(shí)間研發(fā)并實(shí)現產(chǎn)業(yè)化的“90-65納米大角度離子注入機”不但適用于12英寸的集成電路板生產(chǎn)，離子注入的電路線(xiàn)寬度還進(jìn)一步降低到了90-65納米。這為制造電路更密集、芯片更微型的高端集成電路提供了100%國產(chǎn)設備。

集成電路產(chǎn)業(yè)是高新技術(shù)最高端、最密集的行業(yè)之一。我國是世界上最大的集成電路產(chǎn)品應用市場(chǎng)，占據全球市場(chǎng)40%的份額。但長(cháng)期以來(lái)，從集成電路制造工藝到裝備，再到材料，我國每年進(jìn)口額都在千億美元以上。

負責此次研制的是中國電子科技集團下屬北京中科信電子裝備公司。有關(guān)負責人告訴記者，這標志著(zhù)中國集成電路裝備打破了國外裝備的壟斷，走出了一條由國產(chǎn)零配件組成、自主研制的國產(chǎn)裝備產(chǎn)業(yè)化道路，實(shí)現了“02重大專(zhuān)項”突破核心技術(shù)、開(kāi)發(fā)關(guān)鍵產(chǎn)品、構建創(chuàng )新體系、培育產(chǎn)業(yè)化基礎等一系列階段目標。這也意味著(zhù)，今后制造手機、電腦等高端集成電路芯片等，成本與價(jià)格都有大幅度下降。

目前，成品設備已經(jīng)進(jìn)入批量生產(chǎn)階段，并且進(jìn)入集成電路制造龍頭企業(yè)中芯國際公司等。這一專(zhuān)項成果與北京市發(fā)展高端制造業(yè)等產(chǎn)業(yè)發(fā)展、結構調整政策緊密結合在一起，用技術(shù)創(chuàng )新推動(dòng)產(chǎn)業(yè)結構升級。

另?yè)榻B，更先進(jìn)的“45-22納米/12英寸低能大束流離子注入機”，目前也正在加緊研制中，預計在2014年研制出成品機。屆時(shí)，本市在高端集成電路制造產(chǎn)業(yè)中將達到國際領(lǐng)先水平，進(jìn)一步發(fā)揮產(chǎn)業(yè)龍頭作用。

來(lái)源：北京日報